近日，位于合肥高新区的合肥微纳传感技术有限公司通过科研攻关，自主研发出MEMS（微机电系统）红外温度传感器芯片，该芯片可以完成进口替代，是疫情防控利器额温枪的核心部件。
MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。基于多年传感器芯片的研究基础，微纳传感研发的MEMS红外温度传感器芯片性能指标精度达到0.1℃，抗干扰能力优于目前市场主流产品。芯片采用CMOS（互补金属氧化物半导体）工艺制作，具有高探测率、高稳定性、极小温漂系数，可广泛应用于耳温、额温、安防、微波炉等非接触测温场合。
目前，经产能扩大，微纳传感的相关传感器芯片制造、组封装日产量将从1万颗提升到10万颗以上，芯片将直接供应防疫医疗产品生产单位，能够有效缓解市场紧张，助力疫情防控工作。（记者 汪永安）
