刘延东国务委员视察国家重大科技成就展02专项展区

　　3月9日下午，国务委员刘延东同志参观了“十一五”国家重大科技成就展，专门视察了国家科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》（简称02专项）展区，详细了解了02专项实施进展情况和取得的成果。全国政协副主席、科技部部长万钢同志陪同视察，02专项第一行政责任人、上海市副市长沈晓明同志汇报了02专项的实施情况，市科委主任寿子琪同志参加了汇报。
　　
　　作为《国家中长期科学和技术发展规划纲要（2006-2020）》确定的16个科技重大专项之一, “极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（简称02专项）在“十一五”期间，已经启动项目58项，总经费近200亿元，全国参与02专项研发单位133家，分布在18个省、29个市。该项目是民口重大专项中唯一由地方政府牵头组织实施的专项，组织实施工作一直独具特色，在组织实施工作思路和机制创新方面做了很多探索，总结出多项成功经验，各项工作进展顺利，一批课题取得了突破性进展。在成套工艺和整机装备等方面，依靠自主力量，掌握了一批制约产业发展的核心技术。目前，02专项立项研发的35种集成电路装备、材料陆续进入大生产线考核验证阶段。23种封装装备和8种封装材料已通过大生产线验证。“十一五”期间，02专项各单位已累计申请专利4248件，研发成果实现销售总额已超过100亿元，带动相关产业增长近千亿元。