我市高新技术企业绿菱电子材料（天津）有限公司在高纯电子特气领域取得显著成效

高纯电子级溴化氢是集成电路制造中的关键刻蚀材料，以前我国的生产技术与产品尚属空白。近日，绿菱电子材料（天津）有限公司依托天津市重点研发计划项目支持，开发了吸附-精馏纯化工艺，解决了设备腐蚀、痕量水脱除、微量杂质检测等技术难题，得到高纯5N级溴化氢，建成了100吨/年的生产装置。产品技术指标达到了半导体制程要求，得到了相关客户和专家的认可，保障了我国芯片制造的供应链。下一步，公司将进一步优化生产过程的工艺参数，尽快制定企业标准，在现有基础上做大做强，满足国家电子信息行业的重大战略需求。