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西宁开发区东川工业园区电子级多晶硅研发及产业化项目喜获全省科学技术进步一等奖

   2021-08-10 西宁开发区
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核心提示:近期,经省科学技术奖专家评审组评审、省科学技术奖励委员会审定,省政府批准,园区青海黄河上游水电开发有

近期,经省科学技术奖专家评审组评审、省科学技术奖励委员会审定,省政府批准,园区青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司(以下简称“黄河新能源”)“电子级多晶硅成套制备技术研发及产业化”项目荣获青海省科学技术进步一等奖。

为实现自主创新,避免电子级多晶硅的制备技术被西方国家封锁垄断,黄河新能源与浙江大学硅材料国家重点实验室、浙江金瑞泓科技股份有限公司自2009年合作共同开展电子级多晶硅制备技术的研发及产业化项目的研究,致力于实现电子级多晶硅的国产化,提高电子级多晶硅的自给率。项目围绕微电子单晶用多晶硅产品制备和产业化应用,经10余年系统研究,形成了副产物四氯化硅高效循环利用技术、三氯氢硅气体分离提纯技术、高纯多晶硅制备和质量控制技术等一系列核心自主技术,使得电子级多晶硅产品质量及产出率进一步提高,实现了微电子单晶用多晶硅产品的规模化生产,受主杂质小于0.02ppba、施主杂质小于0.06ppba、表金属小于1.5ppbw、体金属小于1.0ppbw等质量指标均达到国际先进水平。

黄河新能源研究的电子级多晶硅成套制备技术研发及产业化项目,成功填补了国内技术空白,不仅降低了电子级多晶硅进口价格还提升了行业核心竞争力。今后,园区将进一步推动企业加大自主创新能力,增强核心竞争力,狠抓企业从单纯科研力到现实生产力的转化,构建园区绿色低碳循环发展现代产业体系,坚定不移走高质量发展之路,为我省建设清洁能源示范省贡献新的更大力量。



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