2月29日-3月4日省科技厅秦水介副厅长带领厅政策法规处、省生产力促进中心、贵州大学相关人员赴上海、苏州、无锡等地对MEMS产业进行实地考察调研。
调研组在上海与芯谋研究、IMEC（比利时）微电子研发中心、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司、美国博通公司、泛林半导体设备技术有限公司等行业资深专家进行会谈。还与MEMS行业的专业咨询机构麦姆斯信息咨询有限公司进行深入的交流。
在苏州，调研组考察了苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司旗下微纳制造分公司（苏州纳米中试线）6英寸 MEMS工艺设计与加工生产线，以及中国科学院与江苏省人民政府、苏州市人民政府和苏州工业园区共同出资创建的中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工平台。在无锡，调研组先后考察了华润微电子有限公司、美新半导体（无锡）有限公司、无锡微奥科技有限公司、华进半导体封装先导技术研发中心有限公司。
在考察调研期间，调研组与考察单位的负责人就MEMS产线人才团队、工艺设计、生成加工、运行维护、市场营销等方面的问题进行了充分的探讨。通过此次调研，为推进我省MEMS产业的发展奠定良好的基础。
