“平板显示用高性能ITO靶材关键技术开发及工程化”项目实现我国显示技术用ITO靶材料自主供给

　　11月3日，2020年度国家科学技术奖获奖名单揭晓，由何季麟院士领衔，稀有金属特种材料国家重点实验室钟景明主任为核心骨干，联合郑州大学、福建阿石创新材料有限公司共同完成的“平板显示用高性能ITO靶材关键技术开发及工程化”项目成果获得国家技术发明二等奖。

          液晶显示屏                                        

　　该项目针对我国平板显示技术进步及应用发展需求，开发了“ITO（氧化铟锡 ）靶材无压氧气氛短流程脱脂烧结一体化”关键技术，突破性解决了高性能ITO靶材全流程性“卡脖子”关键共性技术难题，提高了国内ITO靶材行业的整体技术水平，打破国外技术垄断，大尺寸ITO靶材首次成功应用于京东方高世代TFT面板溅射，实现了我国显示技术用ITO靶材料“从无到有、从低端到高端、从受制于人到自主有效供给、从模仿跟踪到形成完整自主技术体系”的重要转变。

ITO靶材

多年来，在自治区科技厅的持续支持下，西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司、稀有金属特种材料国家重点实验室潜心开展ITO粉末制备及烧结技术应用基础研究，取得了显著突破，为推进本项目实施和我国平板显示用关键基材国产化奠定了重要基础。