高端多通道纳米激光干涉仪研发取得突破

高端多通道纳米激光干涉仪是精密计量、超精加工的标准测量仪器，主要应用于高档数控机床等高端装备的定位精度检测，市场长期被国外企业垄断。在省重大科技专项支持下，成都工具研究所有限公司和四川大学开展联合攻关，在传统的单通道测量激光干涉仪基础上，突破高精度激光稳频、电子细分及多通道干涉镜组的测试胶合等关键技术，研制了具有完全自主知识产权的多通道纳米激光干涉仪。该产品主要技术指标达到国内领先、国际先进水平，填补了国内空白，市场应用前景广阔。