作为第三代半导体外延生长所必需的关键耗材，石墨托盘长期被国外垄断。近日，从甬江实验室热场材料团队获悉，该团队通过工艺创新，成功制备出耐高温、耐腐蚀的高纯碳化硅涂层托盘。眼下，该成果已实现初步量产并打入多家知名企业供应体系，为我国半导体产业链关键部件国产化奠定了基础。
揭牌一年来，甬江实验室创机制、建平台、引人才，加速锻造新材料创新策源力。目前，实验室已引进落地包括热场材料、新型显示与感知技术等在内的8支研究团队、20多名学术带头人和近百名科研骨干，信息材料与微纳器件制备平台等多个高能级科研平台建设加速推进。
人才是实验室的第一资源。甬江实验室谋划制定多元化引才计划，首批推出甬江灯塔、领航、舵手、翘楚等多层级人才计划，梯次引进战略科学家、学术带头人、科技骨干和青年科研人才。甬江实验室相关负责人介绍，人才评审过程中，他们还邀请政府规划部门、产业界以及学界专家共同参与，同时给予人才充分自由来提出科研设想，并配套个性化、适配化资源。目前，实验室90%以上的科研人才来自全球顶尖学府、一流研发机构。
为支持甬江实验室发展，宁波主动放权、全面赋能，给予甬江实验室“两个直接”“三个自主”等最大的引才用才自主权。“实验室提供给高层次科研人才极大科研自由度，对前沿领域也有前瞻布局，可以大展拳脚。”新型显示与感知技术研究团队负责人说。
高质量引才离不开高能级平台支撑。围绕新材料科技前沿和国家战略，深入调研浙江产业高质量发展需求，甬江实验室已布局建设高分子与复合材料等7个研究中心。
（来源：宁波市科技局）
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