7月11日，2022年（第十四届）苏州国际精英创业周吴江分会场暨吴江国际精英创新创业洽谈会开幕。开幕式上，吴江开发区与基于Mems的声电混合射频滤波器项目和氢燃料电金属双极板总成-纳米碳薄膜应用项目顺利签约。
基于Mems的声电混合射频滤波器项目在原有mems技术和对射频系统研究的基础上，展开对5G滤波器芯片（BAW）的设计和开发，针对超窄带宽的要求，设计了TC-BAW，降低温度对性能的影响，使得器件在超窄带宽下，满足实际的需要；在滤波器模块及射频系统方面，开发了不同的滤波器模块及实时的频谱分析系统。同时，人才带领团队主持完成了mems压力传感器、六维力传感器以及射频系统的开发，打破国外技术封锁，探索出高阻值绝缘膜的制备工艺和薄膜电阻刻蚀工艺，完成了丝栅版图的高性能设计，其中在绝缘高压测试方面，其性能远高于国外同类产品。
氢燃料电金属双极板总成-纳米碳薄膜应用项目发明的NSPC碳薄膜工艺涂层可以快速均匀地在金属极板表面沉积，同时建立金属极板微孔耐蚀涂层，两种涂层的有机结合，促使金属极板的耐蚀性增量提高，特别是极板的高电位1.6V条件下的耐蚀电流值e-6A.同金属极板的电阻值<5微安.NSPC制程工艺产量超400万片/年,因此NSPC纳米碳薄膜是解决金属双极板批量化与性能的完美与核心所在。金属双极板总成核心工艺包括NSPC纳米碳薄膜沉积，LAVA真空激光焊接技术，这两项技术为行业首创，项目完全拥有此项目技术的一系列发明与创新知识产权。
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