近日，位于相城经开区的晟盈半导体交付了第一台本土化半导体电化学沉积（ECD）设备，实现了在苏州市电子信息产业领域核心设备本土化研发制造的重要突破。
ECD Stratus P300，是由晟盈半导体（SWAT）自主研发的半导体电化学沉积设备，可实现200-300mm的晶圆处理任务，最多可配置六种不同的电镀材料，广泛应用于凸块下金属层/重布线工艺、扇出型封装、射频滤波器晶圆级封装、功率器件封装等先进封装的晶圆制备过程中。
Stratus P300具有国际专利设计的垂直式电镀技术，其关键工艺在于，通过晶圆夹具及专利的密封技术CRS，携带着晶圆在一个密闭的电流场效应下完成金属沉积在晶圆表面的制备。与其他同类设备相比，Stratus P300处理晶圆的电镀槽更多，工艺结果更优，在电镀均匀性、自动检测等方面也展现了优越的实力。
晟盈半导体简称SWAT，是Semiconductor Wet Advanced Technology名字的缩写。公司是世界半导体巨头ASMPT与智路资本在中国成立的合资子公司，于2021年6月在相城经开区富阳智能制造产业园注册成立。作为一家实现半导体集成电路（微芯片）制作的系统工程集成公司，晟盈半导体设备（江苏）有限公司将工业技术、工程设计和软件控制引入半导体晶圆中微芯片互联的金属沉积过程，专为先进封装领域定制金属化沉积设备和解决方案，受到业界广泛认可。带着“引领数字世界的变革”的公司愿景，晟盈半导体在人才队伍建设、产品技术研发等方面持续发力。组建高学历人才队伍，目前企业员工本科学历占比近70%，硕士及以上学历占比近18%；建立千级及百级车间、实验室面积达1200平方米，持续提高研发投入，着重提升企业自主创新能力。
晟盈半导体所在的富阳智能制造产业园位于相城经开区富阳路，占地面积96亩，园内共有厂房12栋，总建筑面积52663.46平方米。经开区通过整体环境提升改造，同时落实园长责任制，对产业园低效落后项目大力腾退，引入一批科技含量高、未来成长性强的优质企业。2021年成功新招引了苏州哈勒智能装备有限公司、苏州卡罗伊精密刀具有限公司、晟盈半导体设备（江苏）有限公司、苏州矽视科技有限公司、全传科技（苏州）有限公司、苏州优力科瑞半导体科技有限公司等6家优质企业入驻。2022年成功引进旺德新材料（苏州）有限公司、苏州大千模型制作科技有限公司等2家企业。截止目前，园内共有企业11家，一个以智能制造为主体、半导体产业为特色的转型创新园区已初具规模。
今年以来，相城经开区经发局（招商局）充分发挥“量子先锋”力量，赴周边城市开展外出招商以及云端商务会谈150余次，已累计签约项目62个，总投资超220亿元。涵盖高铁枢纽、城铁、地铁等领域的“新基建科技综合产业园”、新材料行业龙头企业海富电子、工业机器人领先制造商相达智能、新能源汽车流水线设备头部供应商德星云、独角兽企业矽视科技等一大批规模大、影响力强的优质项目先后落户。
“相心力”是相城经开区悉心打造的企业服务品牌。经发局（招商局）依托“相心力”服务品牌，紧紧围绕“至诚至真”服务理念，聚力用暖心惠企，不断优化营商环境，加大助企纾困力度，精准服务复工复产，全力保障经济运行平稳有序。面对疫情冲击，经发局（招商局）实行“一企一策”，帮助受疫情影响的企业复工复产。发布“相心力 心连心”经开区暖心惠企行动方案，建立“链接管委会领导、串联所有部门、直通重点企业”的系统服务模式。有针对性地举办民营、外资（台资）、数字经济等企业座谈会4场，面对面协商解决问题，开展惠企政策宣讲会（进出口专场），助企吃透政策，让外贸政策措施直达快享。
下一步，经发局（招商局）将积极抢抓“双中心”建设历史机遇，乘势而上，聚焦新旧动能转换，加快产业转型升级，擦亮“量子先锋”、“相心力”品牌，让“至诚至真”的“相心力”成为招商引资的“向心力”，转化为高质量发展的“新动力”。
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