在江苏产研院/长三角国创中心积极推动下，江苏集萃极限精测与系统控制研究所（极限精测所）与上海市龙头企业——上海精测半导体技术有限公司（上海精测）深入合作、强强联合，共同成立合资公司，专注纳米级高精度气浮平台（UPSS）的设计开发、制造，这也是江苏产研院/国创中心体系专业研究所与联创中心企业合资成立的第一家高技术企业。
当前，国际纷争日益加剧、地缘政治趋于动荡，半导体产业链面临逆全球化、日益严峻的发展环境，半导体高端检测设备作为产业链关键环节，尽快实现自主可控已成为业界共识，自主研发需求达到异常迫切的程度。江苏产研院/国创中心积极助力对接极限精测所与上海精测，为尽快取得技术突破，双方于2021年即启动晶圆量测专用纳米级高精度气浮平台（UPSS）研发项目，首台试验机经过数月驻场调试和优化迭代已通过全面测试，主要性能指标已达到国际一线品牌水平。在此基础上，经过多轮协商沟通，极限精测所与上海精测携手成立合资公司，专注纳米级高精度气浮平台（UPSS）的设计开发、制造与量产。
纳米级的高精度运动台是半导体光刻设备、高精度测量和检测设备、激光加工设备等高端装备的核心子系统，负责硅片、试剂、样品等的承载和高精密定位，运动台对成像性能，即图像线宽，套刻精度以及产率关键性能影响至关重要，对高端装备整体性能的提升极其关键。高精度气浮运动平台集合了精密机械、机电、传感器、运动控制和嵌入式软件等技术的跨学科复杂系统，在半导体领域有着广泛的应用。经过长时间的验证与测试，极限精测所与上海精测合作开发的高精度气浮平台各类技术指标均已达到国际先进水平，对助力国家半导体高质量发展，解决卡脖子技术问题有着重大示范意义。上海龙头企业与江苏研发载体的深度合作，对进一步促进创新要素在长三角区域有序流动与深度融合，有良好的示范与借鉴意义。
来源：江苏省产业技术研究院
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