近年来,邳州经济开发区围绕省批的5.18平方公里化工集聚区宝贵资源,坚持绿色发展、协调发展、创新发展,主要发展以光刻材料为主体的新一代电子化学品,集聚了博康化学、汉拓光学、久日新材、苏州凡赛特、台湾永光化学等国内最先进的光刻材料研发生产企业。实现了光刻胶单体、感光树脂(聚合剂)、增感剂(光引发剂)、电子溶剂与助剂、光学胶、光学膜等共同开发的产业集群,产品覆盖PCB、LCD和半导体用光刻材料全领域。
在集成电路领域,光刻工艺约占整个芯片制造成本的35%,耗时占整个芯片工艺的40-50%,是半导体制造中最核心的工艺。作为光刻核心材料的光刻胶属于高技术壁垒材料,高端光刻胶长期在国外企业垄断的现状,对我国芯片制造造成“卡脖子”风险。徐州博康化学是光刻胶产业链国产化的先驱,公司自2017年起承担国家02专项《193纳米光刻胶的开发区于产业化》,是国内唯一可以生产光刻胶单体的企业,于2019年正式被国家确定为光刻胶单体的国标制定单位,获批国家级专精特新小巨人企业。目前,徐州博康化学储备了全球80%的光刻胶单体产品技术,服务客户超过40家,已经成功开发i线、KrF(248nm)、ArF(193nm)、EUV(13.5nm)四大系列光刻胶产品,同时集合了单体、树脂等光刻胶上游材料和光刻胶的全产业链开发。
久日新材是国内唯一一家生产光敏剂的公司,其在邳州投资建设的大晶新材料、大晶信息、科利生物、晶虹化学等四家企业,产品涵盖了从光敏剂、光刻胶树脂到光刻材料和光刻胶的开发生产;苏州凡赛特光学胶及光学膜项目,通过收购世界光学胶产业鼻祖的日立化成株式会社,成为国内第一个也是目前唯一一个能够生产高端全贴合OCA光学胶的企业。计划投资3亿美元的台湾永光化学集团大硅片研磨液以及光刻胶项目也即将落户。
随着电子新材料产业的链式集聚,多个打破国际垄断、填补国内空白的先进电子材料产业链项目相继落户,日渐成为全省乃至全国重要的电子新材料产业基地。
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