记者近日从青岛市经信委了解到，近日，青岛市企业自主研制的太阳能电池专用等离子增强化学气相沉积设备（PECVD）、太阳能电池专用闭管软着陆扩散炉通过新产品鉴定，达到国际先进水平，两种设备均可以替代进口，价格约为国外同类设备的1/3，已占据国内主要市场，对提高我国太阳能电池片技术具有重大促进作用。
PECVD是光伏产业的关键设备，以往基本依赖进口，青岛市企业开发的PECVD设备解决了国产PECVD自动化程度低、温度控制不准、工艺不稳定的缺陷；扩散炉是太阳能电池片生产最核心的设备，决定电池片的光电转化效率，青岛市企业开发的扩散炉实现了晶片扩散工艺的全自动化控制和生产过程的信息化管理、送料取料自动和精确控制。
据悉，这两种设备均由青岛赛瑞达电子装备股份公司研制。
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