作为对抗全球变暖担忧的一部分,不依赖化石燃料的能源成为此次会议的主要话题。此外,人们对太阳能电池也有很高期待。
引起特别关注的钙钛矿太阳能电池(PSC)在市场上需求特别高,成为新一代太阳电池。
钙钛矿是电池中非常精细的有机层组成的结构,而使用干燥溅射法的传统技术在沉积时会损坏透明导电氧化物(TCO)薄膜,导致有机层降解,从而无法实现所需的设备性能。对于透明导电氧化物来说,很难利用溅射沉积法。
近日,来自日本的京浜乐梦株式会社(KEIHIN RAMTECH)宣布成功开发了在四面相向溅射法中实现高品质成膜的RAM阴极产品。
据介绍,RAM FORCE溅射的优点,改进了钙钛矿太阳能电池的溅射沉积特性。
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KEIHIN RAMTECH表示,RAM FORCE结构独特,通过四面对向靶材和磁场布置实现了低损伤沉积,在PSC上进行TCO沉积,与平面溅射设备相比,作为损伤指标的载体寿命提高了约30%。因此利用其低损伤性实现了低损伤沉积。
通过利用低损伤的溅射特性,PSC代表电池特性的曲线因子——填充因子(FF)达到75%以上。它已经开始用于研发应用和试点线路。
此外,RAM FORCE支持低于60℃(ITO: 100 nm)的低温沉积,因此适用于柔性基材上的溅射沉积。
还专注于其他应用,如对于PSC的空穴输运层(HTL),可以使用NiOx层代替目前使用的Spiro-OmetaD等有机层,实现低损伤溅射沉积和低电阻。
另外,通过改变沉积工艺条件,NiOx也可以作为电子传递层(ETL)沉积,使使用相同的材料实现HTL和ETL沉积成为可能,从而提高性能,降低成本。
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