作者:马伊宁
近日,新疆众和股份有限公司(以下简称新疆众和)6N(99.9999%)级以上超高纯铝研发成功,填补了国内空白。
国际第三方检测机构法国图卢兹EAG实验室出具的检测分析报告显示,新疆众和提供的6N级以上超高纯铝样的关键微量元素均达到了ppb(浓度达到10亿分之一)级别,满足高端半导体生产技术工艺要求。6N级以上超高纯铝研发成功为我国高端半导体生产技术的发展提供了稳定可靠的超高纯铝材料,实现了超高纯铝提纯技术的历史性突破。
6N级以上超高纯铝的研发是新疆众和自主开发的系统性科技创新项目。在一年多的研发过程中,新疆众和高纯铝研发技术团队以公司独特的“定制普铝+三层提纯+偏析提纯”高纯铝提纯产业链为基础,发挥产业链优势,利用内部普铝电解提供的优质原材料,攻克了在4N—5N超高纯提纯阶段的关键元素及反偏析元素的核心难点。同时,研发团队通过反复试验,寻找、优化提纯工艺核心装备与工艺技术的最佳匹配参数,彻底解决了超高纯铝提纯二次污染的瓶颈问题,圆满完成了6N级以上超高纯铝研发项目。
新疆众和6N超高纯铝的研制成功对推进高端半导体芯片材料的国产化进程具有重大意义,标志着新疆众和高纯铝提纯技术达到世界先进水平。