日前，笔者在宁波创润新材料有限公司（以下简称宁波创润）厂房内，见到了新鲜出炉的全球第一根单锭直径达800毫米、重量超过3吨、高度超过1.2米的低氧超高纯钛锭。“看它通身银白，表面质感光洁，个头也大，多漂亮啊！”创润新材料董事长兼总经理吴景晖介绍该产品时，流露出喜爱与骄傲。
宁波创润是目前中国唯一（全球仅有4家）的半导体99.999%低氧超高纯钛合格供应商，实现了半导体级低氧超高纯钛的国产替代，打破国外企业在这一领域的垄断局面。近年来，该公司先后参与或主导了国家02专项（子课题）、国家发改委产业振兴项目、国家科技中小型企业技术创新基金等项目，申请专利80多项，获得授权专利40余项，每年投入的研发费用占年产值的15%以上，不断壮大公司综合实力。2022年，该公司年产值达1.5亿元，同比增长50%。
超高纯钛锭含氧量低、纯度高，目前已广泛应用于极大规模集成电路用溅射靶材制备，以及科研、核电、医疗、军工、航空航天、新能源等市场。“我们之前稳定生产的基本是直径600毫米、重量在1500千克左右的超高纯钛，也是目前市场上较为流通的产品。”吴景晖说。随着市场对更大锭型的需求，宁波创润生产的超高纯钛也在不断挑战自我，从最初的直径200毫米，到400毫米、600毫米、800毫米，成功实现了技术突破，以尖端核心熔炼技术，为市场提供技术储备。
既然是全球首根3吨高纯钛锭，必然意味着研发过程是漫长且艰难的。“除了需要团队的长期专注与把控，绝不能有一点纰漏以外，对机器的要求也很高，需要有匹配的功率、精准的电子束扫描和精确的角度、高要求的冷却标准，还要达到整体锭型的光洁。”该公司熔炼工艺技术总监王会云说。为了打破生产机器被国外企业垄断、购买价格高昂的现状，宁波创润与北京有色金属研究总院共同合作，投入4000余万元自主研发出了2台符合更大锭型生产需求的EB炉，并于2022年底完成安装，今年春节后就投入到生产准备中。2月14日，这个4年前就提出的设想，经过不断铺垫与积累，终于成功生产出了全球首根3吨超高纯钛单锭。
谈及大锭型的优势，吴景晖介绍道，就客户需求来讲，越大的锭型给予后续加工更多空间，整体的成材率会有很大的补足，产品的品质也能得到进一步的提高。就企业自身来讲，开炉期间通过技术更新熔炼出更大锭型，也可以缩短整体的开炉时间，降低成本。“第一根锭就能达到这个水平，简直难以想象，这是我们团队全情投入的最好回报。下一步，除了量产这一锭型的超高纯钛外，我们也在考虑研发直径达到1米的锭型，更广泛地服务不同市场。”吴景晖说。
（胡格格）
