中硅高科全景
9月26日，国务院国资委、人力资源和社会保障部共同召开中央企业先进集体和劳动模范表彰大会。中国五矿推荐的中国恩菲子公司洛阳中硅高科技有限公司（以下简称中硅高科）集成电路用关键硅基材料技术攻关组荣获“中央企业先进集体”称号。
研发突破篇
科技创新是提升企业核心竞争力的关键变量，更是增强企业核心功能的重要保障，中硅高科在成立之初，即以科技创新为发展源动力，建设了国内第一条拥有自主知识产权的多晶硅生产线。近年来，中硅高科谨记高质量发展要求，砥砺科技创新，锚定行业前沿，始终“做落实新发展理念的排头兵、做创新驱动发展的排头兵、做实施国家重大战略的排头兵”，紧紧围绕“四个面向”战略部署，聚焦“三大战略领域”“四大业务集群”，向硅基材料产业新高地发起新挑战。
围绕国家战略需求，瞄准电子信息产业和新能源产业“卡脖子”环节，集聚创新资源，中硅高科成立了由47名专职科研人员组成的集成电路用关键硅基材料技术攻关组。这支平均年龄只有33岁的团队，潜心笃志，在基础研究和核心技术上持续深耕，在技术成果转化上不断突破，先后将芯片行业所需的多种硅基材料产业化，为实现关键核心技术自主可控、提升产业链供应链现代化水平、形成国家战略性科技力量提供了坚实支撑。
集成电路产业是全球各国战略竞争的制高点，也是经济增长的新引擎，而超高纯硅基电子材料是集成电路产业的关键基础材料。目前，超高纯硅基电子材料面临反应体系复杂、产品要求严苛、常规纯化技术受限、缺乏核心装备等诸多难题，导致其国产化率不足10%。如何突破以上困难是我国集成电路产业的重点发展目标，也是中硅高科集成电路用关键硅基材料技术攻关组的重点研发方向。
根据中硅高科制订的锚定硅基材料创新发展战略，中硅高科集成电路用关键硅基材料技术攻关组紧抓核心技术攻关，构建了“纵向到底、横向到边”的硅基材料技术谱系，采用理性设计、跨尺度计算、高效实验相互融合、协同创新的方法，取代了传统的试错法，解决了材料制备过程中存在的“合成反应控制、痕量杂质分离困难、核心装备缺失和技术通用性差”等难题，初步建成了较完备的硅基材料基因库，并形成“硅光伏”和“超高纯硅基材料”两大技术体系。
在针对先进集成电路用硅基前驱体的制备技术突破上，他们基于液固反应的化学机理，深入研究多元特征因素对反应转化率的影响机制，提出基于原料特性和工艺条件的高效转化和杂质综合净化策略，开发“反应-分离-纯化”关键技术，实现了硅基前驱体高转化、高纯度、低成本制备关键技术的研发突破。
中硅高科集成电路用关键硅基材料技术攻关组自成立以来，先后获得授权专利49项，制修订标准8项，形成核心技术成果8项，其中3项达到国际领先水平。该攻关组研发的超高纯硅基电子材料制备技术及应用取得了重大突破，成功实现了科技成果转化，荣获河南省科技进步奖一等奖，该技术为硅基电子信息材料的平台化布局及集群式产出提供了强力助推。
攻关组进行方案设计和仿真计算
成果转化篇
中硅高科集成电路用关键硅基材料技术攻关组紧跟国家指引，依托技术优势和产业基础，持续推动产业化装备和规模化生产技术的开发，促进研发成果转化，积极承担实施了先进制造业发展专项、中央引导地方科技发展专项等31项国家、省级、中国五矿重点项目。
中硅高科集成电路用关键硅基材料技术攻关组始终践行以市场营销为统领的理念，深知研发必须面向用户需求，经得起市场的检验。他们在一次次的实践中，让仿真计算、数据模拟走出了实验室，真正进入了生产一线。
为抢抓某个14纳米以下硅基前驱体材料的市场应用窗口期，中硅高科集成电路用关键硅基材料技术攻关组统筹规划，该攻关组刘见华等16人的突击队为使项目建设进度跟上市场变化的脚步，全面梳理进度计划，围绕施工安排、设计参数和方案措施等进行系统性优化，从源头上大幅压缩调试周期。经过20天不分昼夜的奋战后，终于使合格产品的产出时机与市场应用窗口期完美匹配。调试过程中，22处全流程技术完成改造，48处工艺参数实现固化，12名操作能手从中诞生，这支年轻的科研团队成为了一支能打胜仗的产业尖兵。在工业和信息化部高质量发展专项氮化硅项目中，中硅高科集成电路用关键硅基材料技术攻关组技术人员曾晓国、时庆合等人，采用跟班的方式，以厂为家数十个日夜，坚守在操作岗位和生产现场，完成产线数十册累计将近15万字的SOP（标准作业程序）编写，组织实施20余次专项培训，累计培训300余人次，通过理论指导+示范教学的形式，推动项目成功落地，在满足快速增长的市场需求的同时，为行业提供了示范。
无论在哪个成果转化项目中，该攻关组每个人都恪尽职守、兢兢业业，因为他们知道，自己的工作对项目成败至关重要：在办公室，常常能看到设计人员对着设备图纸、工艺图纸，看了又看，审了又审；在生产车间，常常能看到现场人员顶着烈日、又披着夜色，紧盯管道和设备上的各种仪表；在控制指挥中心，常常能看到操作人员通过鼠标徐徐地打开阀门，注视着屏幕上慢慢跳动的数字；在分析测试中心，常常能看到检验人员穿着高纯洁净服，小心翼翼地将制备后的样品注入质谱仪；在充装车间，常常能看到包装人员一下又一下地紧固完阀门后，认真贴好二维码标签，精准有序地将储罐转移到物流卡车上。之后，物流卡车将产品流转到客户的生产线上。直到试样通过的信息传来，攻关组的等待和期盼才最终化为成功的喜悦。
如今，中硅高科一期项目的10种产品已全部投放市场，二期一批项目的众多产品也逐步进入了调试阶段，新的建设项目也开始了土建施工。扎根在项目上的中硅高科集成电路用关键硅基材料技术攻关组，将继续用严谨的态度，一步一个脚印地推动“基础研究-中小试-产业实践”全流程、全链条研发平台建设，推动中硅高科不断发展壮大。
攻关组进行产品氧氮分析测试
人才体系篇
中硅高科集成电路用关键硅基材料技术攻关组以国家和省级重大发展需求为导向，充分利用硅基材料制备技术国家工程研究中心和国家能源金属资源与新材料重点实验室，博士后工作站，以及省、市级研究平台，服务国家和区域发展战略。遵循“关注一批、研发一批、突破一批”的发展思路，面向硅基材料及其关联材料制备领域，采用了“产学研用”紧密结合的长效运行机制，科学规划平台建设梯级配置，坚持“请进来”和“走出去”相结合，不断拓宽应用基础研究和产业化建设的发展通道，促进创新链和产业链精准对接，形成覆盖科学研究、成果转化、技术服务、人才培养和科技管理全要素的产学研用一体化融合管理模式。
中硅高科集成电路用关键硅基材料技术攻关组有中华杰出青年工程师，也有诸多河南省、洛阳市科技创新领军人才和杰出人才，在他们的引领下，该攻关组逐步成为一支高水平科研开发创新能力和规范严谨工程实施能力兼备的优秀人才队伍。另外，自2022年开始，中硅高科集成电路用关键硅基材料技术攻关组还陆续选拨优秀技术人才，参与中组部的卓越工程师教育培养计划，与清华大学、浙江大学、天津大学等一类高校共同培养工程博士，为中硅高科的创新发展不断积蓄力量。
日日行，不怕千万里；常常做，不怕千万事。中硅高科集成电路用关键硅基材料技术攻关组追求的高度，努力的程度，决定了未来能够达到的境界，他们在担当中不断历练，在尽责中不断成长，用智慧和汗水，描绘着中硅高科转型升级的新画卷。未来，他们将以坚如磐石的信心，进一步肩负起“担国家责任，补行业短板”的使命，以只争朝夕的劲头积极打造硅基材料原创技术策源地，以坚韧不拔的毅力向着硅基材料产业发展的宏伟目标勇敢迈进，以锐意创新的精神为发展新质生产力贡献力量。
（马鸣珂）
