近日,青海省重点研发计划项目“原生多晶硅切割制备硅芯及硅芯对接技术研究”通过专家验收。
项目针对硅芯制备传统区熔法拉制和单晶硅棒切割在生产过程中存在杂质摄入污染、硅芯生产成本高的问题,攻克了原生多晶硅切割制备硅芯及硅芯对接技术,消除了原生多晶硅棒应力,实现了运用原生多晶硅切割技术制备硅芯,并建成年产2万根原生多晶硅切割制备硅芯中试线。硅芯产品较传统区熔法和单晶硅棒切割法,各项杂质含量下降约70%,生产成本降低62%,达到电子一级品(GB-T12963-2014),对全省多晶硅产业高质量发展提供了科技支撑。
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