12月13日，中国有色金属学会公布了2023年度“中国有色金属十大进展”获奖名单，中国有研所属有研工研院“电子级超高纯金属提纯用大功率电子束熔炼装备开发及其应用”项目成功入选。
“电子级超高纯金属提纯用大功率电子束熔炼装备开发及其应用”项目聚焦我国集成电路材料关键装备的“卡脖子”问题，开发出国内首套满足先进集成电路超高纯金属需求的电子束熔炼装备，在大功率高效稳定热阴极电子枪、多枪大功率电子束能量控制、高质量大规格铸锭电子束熔炼装备集成设计等核心技术领域取得突破，获得专利授权40余项，具有完全自主知识产权。
该装备达到国内领先、国际先进水平，并在国内主要超高纯金属原材料生产单位投入使用，标志着高端电子束熔炼装备实现全面国产化。应用该设备生产的超高纯钽、铜等材料已在先进集成电路领域获得批量应用，保障了我国集成电路产业关键原材料自主可控。
该项目入选“中国有色金属十大进展”，体现了行业对有研工研院科技创新实力与成果的认可，彰显了有研工研院对推动行业共性技术提升、保障国家关键产业链安全的重要作用。有研工研院将继续秉承“创业求实、创新致远”的核心价值观，扎实做好科技创新与产业培育，为发展新质生产力，推动高质量发展继续贡献更大的力量。
（李其晓 公淞俏）
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