主要技术指标:
★ X、Y导轨运动直线性：
水平≤2.5″、垂直≤3″
★ 工件台面垂直跳动≤±2.5μm；
★ X、Y向机械导向正交性≤2″；
★ 工件台行程：150×150mm；
★ 工件台最高移动速度：20mm/Sec；
★ 测量分辨率：0.6nm（λ/1024）；
★ 工作室真空度：1.33×10-4Pa。
联系人:胡主任、唐主任
电话:85101784、85100564
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