主要技术指标
★ 运动摆动：<0.5”
★ 工件台行程：150×150mm；
★ 重复定位精度:60nm
★ 微动灵敏度:5nm
★ 水平摆动：<0.5"
★ 垂直摆动：<0.5"
★ 垂直跳动：0.4µm
联系人:胡主任、唐主任
电话:85101784、85100564
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2016-03-10
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主要技术指标
★ 运动摆动：<0.5”
★ 工件台行程：150×150mm；
★ 重复定位精度:60nm
★ 微动灵敏度:5nm
★ 水平摆动：<0.5"
★ 垂直摆动：<0.5"
★ 垂直跳动：0.4µm
联系人:胡主任、唐主任
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