技术特征：
●大面积一次压印；
●自动脱模；
●由PLC控制工艺过程，可实现自主定制；
●可与接近接触式光刻机兼容；
●友好的人机交互，触模屏操作。主要技术指标：
● 分辩力： ≤ 15nm；
● 大功率紫外固化UV LED；
● 样片尺寸：4 英寸(可定制)；
● 压印面积：2英寸(可定制)；
● 模板尺寸：5 x 0.090英寸(可定制)；
● 压印压力：0 - 25 PSI (可升级到100 PSI)；
● 产量：< 5 分钟/片；
● 使用方便：Step-by-step Menu；
● 应用领域广泛。单位名称：中国科学院光电技术研究所
单位地址：四川成都双流西航港光电大道1号
单位网址:www.ioe.ac.cn
联系人： 胡松、赵立新 电话/传真：028-85100564
移动电话：13981738959 电子信箱：husong@ioe.ac.cn更多>同类资讯
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