URE—2000B型紫外光刻机

主要技术特点：　
　  该机采用i线紫外曝光光源，光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术，采用积木错位绳眼透镜实现高均匀照明，并配备了双目双视显微镜和CCD图象对准系统（可同时使用），曝光能量高，聚光角度小，突具厚胶曝光功能，曝光设定采用微机控制，菜单界面友好，操作简便。 
　 
主要技术指标： 
★ 曝光面积：110mm×110mm； 
★ 分辨力：　  0.8～1µm（胶厚2µm正胶）； 
★ 胶厚600µm（SU8胶，据用户工艺条件）； 
★ 对准精度：±0.6µm； 
★ 掩模尺寸：2.5inch、3inch、4inch、5inch； 
★ 样片尺寸：直径ф15mm-ф100mm、厚度0.1mm-6mm； 
★ 照明均匀性：±3.5%(ф100mm)；　　 
★ 汞灯功率：1000W（直流）； 
★ 曝光方式：定时（倒计时方式0.1s～999.9s）。 
联系人:胡主任、唐主任 
电话:85100564、85101784