URE—2000A型紫外光刻机

 

　
主要技术特点：　
　  该机采用i线紫外曝光光源，光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术，采用积木错位绳眼透镜实现高均匀照明，并配备了双目双视显微镜和CCD图象对准系统（可同时使用），曝光能量高，聚光角度小，突具厚胶曝光功能，曝光设定采用微机控制，菜单界面友好，操作简便。 
　
　 
主要技术指标： 
★ 曝光面积：150mm×150mm； 
★ 分辨力：　 0.8～1µm（胶厚2µm正胶）； 
★ 胶厚500µm（SU8胶，据用户工艺条件）； 
★ 对准精度：±0.6µm； 
★ 照明均匀性：±3.5%(ф100mm)；±5.5%(ф150mm) 
★ 掩模尺寸：3inch、4inch、5inch、7inch； 
★ 样片尺寸：直径ф15mm-ф150mm、厚度0.1mm-6mm； 
★ 汞灯功率：1000W（直流）； 
★ 曝光方式：定时（倒计时方式0.1s～999.9s）。 
联系人: 胡主任、唐主任 
电话:85101784　 85100564   免责声明：科技网发布的科技成果相关信息系根据科技成果信息提供方提供的信息内容进行发布。 科技网作为信息收集、发布平台，仅对科技成果相关信息内容进行发布，不对所发布科技成果的相关信息的真实性、完整性、准确性和合法性负责，不保证所发布科技成果的名称、图片、描述与科技成果的实际相符，也不对科技成果做任何担保和承诺。