URE—2000/35型紫外光刻机

技术特征： 
　　创新采用三柔性支点实现高精度自动调平；真空接触自动曝光；样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制；采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明；可连续设定分离间隙；采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。 
 
主要技术指标： 
★ 曝光面积：100mm×100mm； 
★ 分辨力：　  1µm（胶厚2 µm正胶）； 
★ 对准精度：±0.8µm ；　 
★ 照明均匀性：±4%（ф100mm 范围）；　　　　 
★ 掩模尺寸：2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch； 
★ 样片尺寸：直径ф15mm-- ф100mm、 
　　　　　　厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)； 
★掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°； 
★汞灯功率：350W（直流）；　★曝光方式：定时（倒计时方式）。 
 
联系人:胡主任、唐主任 
电话:85100564、85100564