IC装备产业作为高端装备制造业的基础和核心，是国民经济和社会发展的战略性、先导性产业，在国民经济与国防安全方面发挥着重要作用。根据《国家集成电路产业发展推进纲要》的要求，近年来，沈阳市大力培育壮大IC装备产业，为全市经济社会又好又快发展提供强大科技支撑。
经过不懈的努力，沈阳市已经建立起国内最完整的IC装备产业链条，独创了“产品市场+技术创新联盟+骨干企业+公共技术平台+国家和省级研发机构+国家科技重大专项+地方政府支持”的沈阳IC装备产业发展模式。
一是聚集了一批掌握核心技术的高端领军人才，培养出一批高素质的专业人才队伍，组建了IC装备专业孵化器，成立了IC装备产业技术创新联盟，形成了具有较强开发能力和创新活力的科技创新服务体系；二是突破了一批制约我国IC装备产业发展的关键技术，开发出一批填补国内空白、市场需求量大的IC整机装备和核心单元部件产品，大部分产品已经批量投放市场，得到广大用户的认可；三是建立了具有较强研发和生产能力的高等级精密零部件加工和表面处理平台，技术能力与工艺水平在国内居于领先地位，产品已经成功打入国际市场，并成为国际行业巨头的战略客户；四是吸纳和成长起科仪、拓荆、芯源、富创、新松、博微、硅基等分布于IC装备产业链各个环节、富有创新活力的制造企业，主导产品已在国内半导体加工、医疗器械、太阳能电池等行业实现销售和应用。建立起横向涵盖材料、零件、功能部件、系统、整机设备等环节，纵向涵盖研发、孵化、成果转化到产业化实施的可持续创新发展的产业体系。
“北上沈”三足鼎立
IC（集成电路Integrated circuit）装备产业是国家基础性、战略性产业，代表了当今世界制造技术的最高水平。IC装备产业包括设计、制造、封装等7大类130多个品种，零部件数以千计，融合了精密机械、光学、材料、仪器仪表、自动控制等学科。由于IC装备产业关联度高、辐射度广，对平板显示器、光伏发电、LED等产业都具有推动作用，因而成为国内外发展最为迅速和竞争最为激烈的产业之一。
同欧美发达国家相比，我国IC装备产业起步较晚，但发展迅猛。2014年，我国IC装备产业市场规模上升至10393亿元，同比增速达到13.4%。目前，国内IC装备产业的研发生产形成了北京、上海和沈阳三足鼎立的态势。
沈阳IC装备产业,不仅有科仪、富创、新松、博微等一大批IC零部件产品全国领先的企业，而且还有拓荆、芯源等，在IC装备整机产品方面不断突破，异军突起的企业……尤为难得的是，国家集成电路产业投资基金与沈阳拓荆签署增资协议，投资额度共计2.7亿元。截至目前，资金已经全部到位。沈阳拓荆成为国内第二家得到支持的集成电路装备制造企业。
专注构建研发体系
沈阳市拥有国内惟一的真空技术装备国家工程实验室、国家真空仪器装置工程技术研究中心和真空专业博士点，拥有我国机器人研究开发的顶尖机构——中科院沈阳自动化所，拥有国内较早研制生产半导体器件和集成电路的研究所——中国电子集团公司第四十七研究所，拥有IC装备应用材料的技术支撑机构——中科院金属研究所，与IC装备产业直接相关的国家级工程技术中心达到5个，从业人员3000多人，开展了50余项产业共性、关键和前沿技术的研究，形成了相对完善的公共服务和研发体系。同时，沈阳市建立了与海外相关领域知名华人专家的畅通合作渠道，成功引进了国际IC行业知名专家姜谦、吕光泉、韦亚一、吴功、姜小平等一批归国创业人员，为沈阳市IC装备产业发展注入了动力和活力。
产业集群初具规模
沈阳市IC装备产业区域集中，产业合作紧密，企业与产品间上下游分工合理。目前，IC装备企业已发展到50余家，200多种产品。其中，包括科仪、拓荆、芯源、富创、博微、新松、硅基等一批骨干企业。随着全市IC装备产业化程度不断提高，主导产品已在国内半导体加工、医疗器械、太阳能电池等行业实现销售和应用，并逐渐进入主流市场。同时，带动了平板显示器、太阳能电池、LED等关联产业的发展，建立起横向涵盖材料、零件、功能部件、系统、整机设备等环节，纵向涵盖研发、孵化、成果转化到产业化实施的可持续创新发展的产业体系。2015年，沈阳市IC装备产业实现总产值24.5亿元，同比增长7%。
营造良好发展环境
在政策推动方面，沈阳市政府与中科院签署了《合作推进沈阳IC装备及零部件产业发展的框架方案》，建立了协调工作机制。出台了《沈阳市人民政府关于加快推进IC装备产业发展的实施意见》，制定了推动IC装备产业健康快速发展的政策措施；在产学研合作方面，成立了沈阳IC装备产业技术创新战略联盟，在技术、人才、信息等方面实现共享，积极探索利益共同体的形成机制。
经过不懈努力，沈阳市已经建立起国内最完整的IC装备产业链条，独创了“产品市场+技术创新联盟+骨干企业+公共技术平台+国家和省级研发机构+国家科技重大专项+地方政府支持”的沈阳IC装备产业发展模式。准确的发展定位和良好的发展环境，使沈阳市IC装备产业发展水平在短期内全面超越了西安、成都等城市，迅速跻身全国三甲，与北京、上海形成三足鼎立之势。
积极参与国际竞争
下一步，沈阳市将通过机制创新、资本运作，内引外联、产业联盟等措施，加快IC装备产业发展。做大做强优势产品，树立沈阳IC装备产业品牌；大力承接零部件加工外包业务，拓展用户领域；向光伏、LED、平板显示器等领域延伸产业链条，并形成配套能力；积极参与国际竞争，进军东南亚、欧美等国际市场。
依托沈阳IC装备产业园，做强做大一批整机设备及关键单元部件制造企业，打造集设计、制造、材料为一体的全产业链条，努力将IC装备产业培育成支柱产业。预计到2017年，IC装备产业将实现年销售收入70亿元、利税24亿元；到2020年，实现年销售收入200亿元、利税70亿元。
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