本报讯(记者 蒋明)10月14日,由合肥芯硕半导体有限公司自主研制、拥有完全自主知识产权的国内首台激光直写成像防焊曝光机Galaxy100正式交付使用。该机对准精度和资料解析度等技术指标均达到了国际领先水平。
激光直写成像防焊曝光机,集光学、精密机械、电子控制、材料和软件等多领域科技于一体,是新型智能终端制造中的必备设备。过去一直被国外厂商所垄断。合肥芯硕半导体有限公司是国内首家专业研究、开发和生产半导体直写光刻和检测设备、高端PCB专用激光直写成像设备(LDI)的国家高新技术企业,公司是国内首家承担两项国家02专项整机任务的高科技民营企业,拥有专利90余项,是国内集成电路高端装备产业拥有自主知识产权的核心龙头企业,研发的多款光刻机设备成功打破国外对华的垄断和技术封锁。